반도체 칩 제조 설비 작동 기록부

□ 설비 기본 정보

설비명		모델명
제조사		설비번호
설치일자		최근점검일자

□ 작동 기록 상세

-주요사항1 : 작동 전 기기 점검 완료 상태 확인

-주요사항2 : 공정별 이상 유무 확인

-주요사항3 : 안전 규정 준수 여부 확인

□ 작동 기록

작동일자		작동시작시간		작동종료시간		작동상태
담당자		생산량		품질검사결과		비고
이상사항