반도체 장비 점검표

점검항목	상태	측정값	기준값	결과	담당자	비고
전원공급안정성
냉각시스템온도
진공도유지
가스공급압력
내부습도조절
센서동작확인
필터교체주기
청소도점검
부품마모상태
전기접촉저항
누수누기점검
진동수준측정